表面清浄度
| 使用測定器 | コロナサーフ |
| 分析手法 | 電荷付与表面電位測定法 |
| 標準データ | 表面電位シフトdV0、初期表面電位Vi |
測定ヘッド
測定データ例
金属表面の仕事関数
| 使用測定器 | コロナサーフ |
| 分析手法 | ケルビンプローブ法（大気中） |
| 標準データ | 仕事関数θ（eV) |
| 面分析 | 80x80mm(最大) |
面分析用XY駆動ステージ
金めっき上の皮脂汚染による文字TS
表面の帯電特性
| 使用測定器 | コロナサーフ |
| 分析手法 | 電荷付与表面電位測定法 |
| 標準データ | 表面電位分布（mV) |
面分析用XY駆動ステージ
Siウェハ上の正電荷帯電の面分析
薄膜の密着力
| 使用測定器 | AEセンサー付スクラッチ試験機 |
| 荷重範囲 | Max 200N |
| 標準データ | 臨界荷重 LcOM、LcFF、LcAE (N) |
| オプションデータ | 界面応力解析 |
スクラッチ痕のSEM画像
スクラッチ試験測定データ例
薄膜の膜厚
| 使用測定器 | ボール研磨法膜厚測定器（カロテスト） |
膜厚 E=XY/2R
カロテスト研磨痕 鋼+CrN 18μm
多層膜のカロテスト研磨痕