コロナ放電によって固体表面に置かれた電荷による表面電位変化を振動容量法（ケルビンプローブ）で非接触測定し、金属等の母材表面の汚染度合いを定量評価します。

測定は数分でできるため、洗浄プロセスの開発のみならず生産ラインでの部品表面の清浄度管理にも使えます。
表面電位減衰曲線は、薄膜の電気的特性と膜厚に依存するため、絶縁物被膜の膜厚管理、金属表面の酸化層厚さやDLC膜の品質管理にも利用できます。