コロナ放電を利用した表面電位測定によるDLC膜の電気的特性評価

コロナサーフを用いてイオン化蒸着法により成膜されたDLC膜を測定。電荷を付与する前後の表面電位を測定することにより、DLC膜の帯電特性を評価した結果を報告。