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コロナ放電を利用した表面電位測定によるDLC膜の電気的特性評価

コロナ放電を利用した表面電位測定によるDLC膜の電気的特性評価コロナサーフを用いてイオン化蒸着法により成膜されたDLC膜を測定。電荷を付与する前後の表面電位を測定することにより、DLC膜の帯電特性を評価した結果を報告。

ファイル名 サイズ
corona_DLC.pdf 495.71 KB