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 コロナ放電によって固体表面に置かれた電荷による表面電位変化を振動容量法（ケルビンプローブ）で非接触測定し、金属等の母材表面の汚染度合いを定量評価します。測定は数分でできるため、洗浄プロセスの開発のみならず生産ラインでの部品表面の清浄度管理にも使えます。表面電位減衰曲線は、薄膜の電気的特性と膜厚に依存するため、絶縁物被膜の膜厚管理、金属表面の酸化層厚さやDLC膜の品質管理にも利用できます。
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| 主な応用分野 | |
| ★各種表面処理（静電塗装・めっき・ＰＶＤ）前後の下地清浄度の管理・洗浄プロセスの開発 ★タイヤ用ゴム金型の寿命管理 ★各種材料の帯電特性の管理 ★レジン接着剤による接合前の下地管理 ★アルマイトプロセスの開発・管理 ★DLC・AL2O3等薄膜の品質管理 ★表面物性の分析評価（表面科学における仕事関数の測定など） |
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