題名
著者,発表雑誌,発表年および主な内容
コロナ放電を利用した表面電位測定によるDLC膜の電気的特性評価
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熊谷 泰,第5回トライボコーティングの現状と将来シンポジウム予稿集(2003年2月25日)
イオン化蒸着法により基板バイアス電圧を変化させて成膜したDLC膜のコロナサーフ測定およびラマン分光分析による結晶構造の解析
コロナサーフトップ
測定原理
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文献