応用例 主な内容
 C101(PDF 17KB)
SUS304基板上の黒鉛汚染と油汚染の識別
黒鉛と油では初期電位Viが大きく異なり、また電気特性が異なるためdV特性が異なります。従って、汚染の種類の違いをdV-Vendマップから識別することができます。
 C102(PDF 19KB)
PVD成膜前のSUS630部品の精密洗浄後のコロナサーフ特性マップ
PVD成膜前の精密洗浄において正常品はdV−Vendマップにおいて1カ所に収束するのに対し、不良品はその不良要因に従ってdVまたはVendの異常(シフト)が見られます。ラインにおいて品質管理の有効な手段と考えられます。
フランスHEF開発製造
表面清浄度測定器
コロナサーフ
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